ITO靶材（ITO Target） 纯度N 密度 g/cm3 电阻率 Ω•mm2/m 弹性模量 GPa 热膨胀系数 热扩散 比热 热导率 T•℃ 10-6•℃-1 T, •℃ 10-6m2•8-1 I•Rg-1•℃ W•m-1•℃-1 ≥4N ≥7.08 2.804 169.7 20-100 6.6 25 4.86 421 14.5 20-200 7.0 50 4.70 422 14.0 20-300 7.2 100 4.11 423 13.2 20-400 7.5 200 3.96 426 11.9 20-500 7.7 300 3.66 429 11.1 20-600 7.9 400 3.52 431 10.8 500 3.54 434 10.9 600 3.71 437 11.5 本公司可根据用户要求生产各种规格的平板靶材和圆筒形靶材，平板靶材最大尺寸380*200，厚度可根据客户要求制造；圆筒型靶材内外径和高度可根据客户要求制造，如：直径φ90 * φ78的圆桶形靶材高度可达60mm以上。