ITO靶材（ITO Target）
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纯度N |
密度 |
电阻率 |
弹性模量 |
热膨胀系数 |
热扩散 |
比热 |
热导率 |
||
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T•℃ |
10-6•℃-1 |
T, •℃ |
10-6m2•8-1 |
I•Rg-1•℃ |
W•m-1•℃-1 |
||||
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≥4N |
≥7.08 |
2.804 |
169.7 |
20-100 |
6.6 |
25 |
4.86 |
421 |
14.5 |
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20-200 |
7.0 |
50 |
4.70 |
422 |
14.0 |
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20-300 |
7.2 |
100 |
4.11 |
423 |
13.2 |
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20-400 |
7.5 |
200 |
3.96 |
426 |
11.9 |
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20-500 |
7.7 |
300 |
3.66 |
429 |
11.1 |
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20-600 |
7.9 |
400 |
3.52 |
431 |
10.8 |
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500 |
3.54 |
434 |
10.9 |
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600 |
3.71 |
437 |
11.5 |
本公司可根据用户要求生产各种规格的平板靶材和圆筒形靶材，平板靶材最大尺寸380*200，厚度可根据客户要求制造；圆筒型靶材内外径和高度可根据客户要求制造，如：直径φ90 * φ78的圆桶形靶材高度可达60mm以上。
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