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ITO靶材(ITO Target)

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产品描述

ITO靶材(ITO Target)

纯度N

密度
g/cm3

电阻率
Ω•mm2/m

弹性模量
GPa

热膨胀系数

热扩散

比热

热导率

T•℃

10-6•℃-1

T, •℃

10-6m2•8-1

I•Rg-1•℃

W•m-1•℃-1

≥4N

≥7.08

2.804

169.7

20-100

6.6

25

4.86

421

14.5

 

 

 

 

20-200

7.0

50

4.70

422

14.0

 

 

 

 

20-300

7.2

100

4.11

423

13.2

 

 

 

 

20-400

7.5

200

3.96

426

11.9

 

 

 

 

20-500

7.7

300

3.66

429

11.1

 

 

 

 

20-600

7.9

400

3.52

431

10.8

 

 

 

 

 

 

500

3.54

434

10.9

 

 

 

 

 

 

600

3.71

437

11.5

       本公司可根据用户要求生产各种规格的平板靶材和圆筒形靶材,平板靶材最大尺寸380*200,厚度可根据客户要求制造;圆筒型靶材内外径和高度可根据客户要求制造,如:直径φ90 * φ78的圆桶形靶材高度可达60mm以上。